半導体製造装置開発
C
EtherCAT通信
EtherCAT通信を導入し、半導体製造装置の処理効率改善を実現
導入企業の概要
半導体製造装置のプロセスの微細化や処理の多機能化、接続する機器の増加等に伴い、通信量や通信速度の向上が課題となっていました。
導入前の課題
産業用製造装置各社が注目する技術であるEtherCAT通信に着目。
半導体製造装置をEtherCAT通信に対応させることにより通信速度向上に成功。さらに高速化によりプロセス性能や生産性も向上させることができました。
半導体製造装置開発
C
EtherCAT通信
半導体製造装置のプロセスの微細化や処理の多機能化、接続する機器の増加等に伴い、通信量や通信速度の向上が課題となっていました。
産業用製造装置各社が注目する技術であるEtherCAT通信に着目。
半導体製造装置をEtherCAT通信に対応させることにより通信速度向上に成功。さらに高速化によりプロセス性能や生産性も向上させることができました。